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이온빔 스퍼터링 코팅

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이온빔 스퍼터링 코팅

  99.99%가 넘는 반사율

  온도와 습도 등 환경적 요인으로 인한 영향 감소 /h3>

  코팅의 제한을 받지 않는 표면 거칠기

  266-1600nm 범위의 파장 커버

  극초단 코팅으로 군지연 분산(GDD) 제어 가능

에드몬드 옵틱스는 이온빔 스퍼터링(IBS: Ion Beam Sputtering) 기법을 사용한 증착 방식으로 광학 코팅을 설계 및 제조합니다. 이와 같은 코팅 기술은 반복 정밀도가 매우 높기 때문에 고반사 미러와 극초단 미러 뿐만 아니라 뚜렷한 전환을 가진 필터에 이상적으로 사용할 수 있습니다.

 
 

고반사 IBS 코팅 측정에 동원되는 Cavity Ring-Down (CRD) Loss Meter

  • 최첨단 계측 장비로 고반사 광학 부품 검사
  • 높은 민감도로 백만분율(ppm) 단위의 총 손실 측정
  • 테스트 광학과 참조 미러로 구성된 공진기로 신호 감쇄 비율 측정
고반사 광학 부품을 위한 계측 기술 더 알아보기
CRD loss meters produce a highly-sensitive loss measurement of signal decay rate, quantifying a component’s transmission, absorption, and scatter
그림 1: CRD loss meter를 이용해 높은 민감도로 신호 감쇄 비율의 손실을 측정하고 광부품의 투과율, 흡수율, 산란 정도를 정량화함.
Loss measurements made using CRD are much more accurate for highly-reflective optics than direct transmission or reflection measurements made using a spectrophotometer
그림 2: 고반사 광학 부품에는 CRD를 사용한 손실 측정이 분광광도계를 직접 사용해 투과율 및 반사율 측정하는 것보다 훨씬 더 향상된 정확도 제공.
 

높은 수치의 레이저 유도 손상 임계치 (LIDT)

IBS 코팅은 레이저 유도 손상 임계치가 높기 때문에 레이저 광학 용도에 안성맞춤.

Wavelength Typical LIDT
355nm 10 J/cm2 @ 20ns, 10Hz
532nm 25 J/cm2 @ 20ns, 10Hz
1064nm 30 J/cm2 @ 20ns, 10Hz
표 1: 프로세스의 지속적인 발달로 이 전형적인 LIDT 값 또한 갈수록 개선됨.

극초단 IBS 코팅

  • 0에 근접하거나 높은 수치의 네거티브 군지연 분산(GDD)용으로 설계된 코팅 레이어
  • 극초단 레이저 시스템에서 일반적으로 나타나는 고분산을 최소화하거나 보정 처리
  • 극초단 레이저의 단펄스 지속시간은 광범위한 용도에 적합
  • 백색광 간섭계를 사용해 높은 정확도의 GDD 측정

IBS 광학 부품을 위한 초미세연마 기판

  • 1Å RMS 미만의 표면 거칠기로 산란 최소화
  • 용융 실리카는 최대 50mm 직경까지 가능
  • IBS 코팅을 보완하여 초저손실의 광학 부품 생성
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