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DUV Vacuum-Compatible Waveplates

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  • 심자외선(DUV) 영역에 속한 257nm 및 266nm 파장 지원
  • 진공 호환 어플리케이션에 적합
  • 아노다이징 처리가 되어 있지 않은 마운트 사용, 비접착식 구조 적용

공통 스펙

Clear Aperture CA (mm):
>7
Diameter (mm):
12.70 +0.00/-0.25
Substrate:
Crystal Quartz
Surface Quality:
10 - 5
Thickness (mm):
6.00
Construction:
Crystalline
Transmitted Wavefront, P-V:
λ/10 @632.8nm
Parallelism (arcsec):
<3
Retardance Tolerance:
±λ/100 @20°C
Temperature Coefficient (λ/°C):
0.0001
Retardance Order:
0
Configuration:
Air spaced; no mounting glue; no glue contacted spacer between crystals
Dia. (mm)  Retardance   Coating   Retardance Order   제품 비교하기   재고 번호   가격(부가세 별도)  구입하기
12.70 λ/2 Laser V-Coat (257nm) 0 #29-969 신제품 KRW 652,500 수량 6+ KRW 507,500   견적 요청  
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12.70 λ/2 Laser V-Coat (266nm) 0 #29-968 신제품 KRW 652,500 수량 6+ KRW 507,500   견적 요청  
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12.70 λ/4 Laser V-Coat (257nm) 0 #29-984 신제품 KRW 652,500 수량 6+ KRW 507,500   견적 요청  
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12.70 λ/4 Laser V-Coat (266nm) 0 #29-983 신제품 KRW 652,500 수량 6+ KRW 507,500   견적 요청  
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해당 제품은 아노다이징 처리가 되어 있지 않은 알루미늄 하우징에 장착되며 진공 환경에서 low outgassing 특징을 갖는 비접착식 구조가 적용되었습니다. 또한, λ/2와 λ/4의 위상 지연을 갖고 257nm과 266nm의 설계 파장에서 투과율이 99.8%가 넘도록 최적화되어 있습니다. 지연 공차가 작고 제로 오더에 근접한 구조가 특징인 제품으로 대역폭이 확장되었으며 온도 변화에 영향을 덜 받습니다. 해당 제품은 마운트 가장자리에 빠른 축상(fast axis)이 표시되어 있어 구분과 시스템 통합을 쉽게 할 수 있습니다. 또한, 진공 환경에 배치된 생명 과학 및 리소그래피 어플리케이션에 적합합니다.

 
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