에드몬드옵틱스는 개인정보 보호를 중요하게 생각합니다

에드몬드옵틱스는 당사 웹사이트의 기능과 콘텐츠를 최적화하고 개선하기 위해 쿠키를 사용합니다.‘OK’ 버튼을 클릭하면 전체 쿠키 정책에 동의하게 되며,‘세부 정보 표시’ 버튼을 클릭하면 더 자세한 정보를 확인할 수 있습니다.당사는 수집된 쿠키를 통해 제공되는 정보를 판매하지 않으며 해당 정보는 사용자 경험을 개선하는 용도로만 사용됩니다.

세부

필요한 쿠키는 페이지 탐색과 같은 기본 기능을 활성화하여 사용할 수 있는 웹사이트를 만들고 해당 웹사이트 영역을 안전하게 액세스하도록 돕습니다. 이 웹사이트는 이러한 쿠키없이 적절하게 작동할 수 없습니다.
- Cookiebot
  1
  이 공급자에 대해 자세히 알아보기
  CookieConsentStores the user's cookie consent state for the current domain
  최대 보관 기간: 1 년유형: HTTP 쿠키
- Google
  2
  이 공급자에 대해 자세히 알아보기
  이 공급자가 수집하는 일부 데이터는 개인화 및 광고 효과 측정을 위한 것입니다.
  rc::aThis cookie is used to distinguish between humans and bots. This is beneficial for the website, in order to make valid reports on the use of their website.
  최대 보관 기간: 영구유형: HTML 로컬 스토리지
  rc::cThis cookie is used to distinguish between humans and bots.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTML 로컬 스토리지
- LinkedIn
  1
  이 공급자에 대해 자세히 알아보기
  li_gcStores the user's cookie consent state for the current domain
  최대 보관 기간: 6 월유형: HTTP 쿠키
- LiveChat
  2
  이 공급자에 대해 자세히 알아보기
  __lc_cid웹사이트의 채팅 박스 기능을 목적으로 필요로 함.
  최대 보관 기간: 400 일유형: HTTP 쿠키
  __lc_cst웹사이트의 채팅 박스 기능을 목적으로 필요로 함.
  최대 보관 기간: 400 일유형: HTTP 쿠키
- edmundoptics.com
  eogo.edmundoptics.com
  radar.cloudflare.com
  3
  __cf_bm [x3]This cookie is used to distinguish between humans and bots. This is beneficial for the website, in order to make valid reports on the use of their website.
  최대 보관 기간: 1 일유형: HTTP 쿠키
- eogo.edmundoptics.com
  1
  BIGipServer#Used to distribute traffic to the website on several servers in order to optimise response times.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTTP 쿠키
- sealserver.trustwave.com
  www.edmundoptics.co.kr
  4
  AWSALB [x2]Registers which server-cluster is serving the visitor. This is used in context with load balancing, in order to optimize user experience.
  최대 보관 기간: 7 일유형: HTTP 쿠키
  AWSALBCORS [x2]Registers which server-cluster is serving the visitor. This is used in context with load balancing, in order to optimize user experience.
  최대 보관 기간: 7 일유형: HTTP 쿠키
- service.mtcaptcha.com
  3
  jsVThese cookies are used to secure the website from unwanted bots and automated scripts and help verify human users.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTTP 쿠키
  mtv1ConfSumhttps://www.mtcaptcha.com/faq-cookie-declaration
  최대 보관 기간: 세션유형: HTTP 쿠키
  mtv1Pulsehttps://www.mtcaptcha.com/faq-cookie-declaration
  최대 보관 기간: 세션유형: HTTP 쿠키
- www.edmundoptics.co.kr
  3
  .AspNetCore.Antiforgery.#Helps prevent Cross-Site Request Forgery (CSRF) attacks.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTTP 쿠키
  .AspNetCore.Mvc.CookieTempDataProviderPreserves the visitor's session state across page requests.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTTP 쿠키
  UMB_SESSIONStores domain prefix to determine whether it holds https or http URL properties.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTTP 쿠키
선호하는 쿠키는 웹사이트가 귀하가 선호하는 언어나 귀하가 사는 지역과 같이, 행동하고 보이는 방법을 변경하는 정보를 기억하도록 웹사이트를 활성화합니다.
- LiveChat
  1
  이 공급자에 대해 자세히 알아보기
  __oauth_redirect_detectorAllows the website to recoqnise the visitor, in order to optimize the chat-box functionality.
  최대 보관 기간: 1 일유형: HTTP 쿠키
- Livechat
  1
  이 공급자에 대해 자세히 알아보기
  @@lc_auth_token:3b0f44ba-5eb5-4bb1-a9e1-2214776a186b미결
  최대 보관 기간: 영구유형: HTML 로컬 스토리지
통계 쿠키는 익명으로 정보를 수집하고 보고하여 방문자가 웹사이트로 상호 작용하는 방법을 이해하도록 웹사이트 소유자를 돕습니다.
- Convert Insight
  5
  이 공급자에 대해 자세히 알아보기
  conv_variationsThis cookie is used by the website’s operator in context with multi-variate testing. This is a tool used to combine or change content on the website. This allows the website to find the best variation/edition of the site.
  최대 보관 기간: 영구유형: HTML 로컬 스토리지
  _conv_rThis cookie is used as a referral-cookie that stores the visitor’s profile – the cookie is overwritten when the visitor re-enters the website and new information on the visitor is collected and stored.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTTP 쿠키
  _conv_sThis cookie contains an ID string on the current session. This contains non-personal information on what subpages the visitor enters – this information is used to optimize the visitor's experience.
  최대 보관 기간: 1 일유형: HTTP 쿠키
  _conv_sptestThis cookie contains an ID string on the current session. This contains non-personal information on what subpages the visitor enters – this information is used to optimize the visitor's experience.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTTP 쿠키
  _conv_vThis cookie is used to identify the frequency of visits and how long the visitor is on the website. The cookie is also used to determine how many and which subpages the visitor visits on a website – this information can be used by the website to optimize the domain and its subpages.
  최대 보관 기간: 6 월유형: HTTP 쿠키
- Google
  5
  이 공급자에 대해 자세히 알아보기
  이 공급자가 수집하는 일부 데이터는 개인화 및 광고 효과 측정을 위한 것입니다.
  _ga [x2]Registers a unique ID that is used to generate statistical data on how the visitor uses the website.
  최대 보관 기간: 25 월유형: HTTP 쿠키
  _ga_# [x3]Used by Google Analytics to collect data on the number of times a user has visited the website as well as dates for the first and most recent visit.
  최대 보관 기간: 25 월유형: HTTP 쿠키
- Livechat
  1
  이 공급자에 대해 자세히 알아보기
  _livechat_has_visitedIdentifies the visitor across devices and visits, in order to optimize the chat-box function on the website.
  최대 보관 기간: 영구유형: HTML 로컬 스토리지
마케팅 쿠키는 웹사이트에 걸쳐 방문자를 추적하기 위해 사용됩니다. 이 의도는 개인 사용자와 관련되어 있고 연계되어 있으며 게시자와 타사 업체 광고주를 위해 더 관심이 있는 광고를 표시하는 것입니다.
- Meta Platforms, Inc.
  4
  이 공급자에 대해 자세히 알아보기
  _fbp [x2]Used by Facebook to deliver a series of advertisement products such as real time bidding from third party advertisers.
  최대 보관 기간: 3 월유형: HTTP 쿠키
  lastExternalReferrerDetects how the user reached the website by registering their last URL-address.
  최대 보관 기간: 영구유형: HTML 로컬 스토리지
  lastExternalReferrerTimeDetects how the user reached the website by registering their last URL-address.
  최대 보관 기간: 영구유형: HTML 로컬 스토리지
- Convert Insight
  1
  이 공급자에 대해 자세히 알아보기
  conv_randThis cookie is used by the website’s operator in context with multi-variate testing. This is a tool used to combine or change content on the website. This allows the website to find the best variation/edition of the site.
  최대 보관 기간: 영구유형: HTML 로컬 스토리지
- Google
  8
  이 공급자에 대해 자세히 알아보기
  이 공급자가 수집하는 일부 데이터는 개인화 및 광고 효과 측정을 위한 것입니다.
  _gcl_au [x2]Used by Google AdSense for experimenting with advertisement efficiency across websites using their services.
  최대 보관 기간: 3 월유형: HTTP 쿠키
  IDE광고의 유효성을 측정하기 위한 목적으로 광고주의 광고 중 하나를 보거나 클릭한 후 웹사이트 사용자의 행동을 등록 및 보고하고 사용자에게 표적 광고를 제시하기 위해 Google DoubleClick에 사용됨.
  최대 보관 기간: 400 일유형: HTTP 쿠키
  test_cookie사용자의 브라우저가 쿠키를 지원하는지 여부를 확인하는 데 사용됨.
  최대 보관 기간: 1 일유형: HTTP 쿠키
  _gatUsed to send data to Google Analytics about the visitor's device and behavior. Tracks the visitor across devices and marketing channels.
  최대 보관 기간: 1 일유형: HTTP 쿠키
  _gidUsed to send data to Google Analytics about the visitor's device and behavior. Tracks the visitor across devices and marketing channels.
  최대 보관 기간: 1 일유형: HTTP 쿠키
  NID재유입 사용자의 기기를 식별하는 고유의 ID를 등록함. 이 ID는 표적 광고를 위해 사용됩니다.
  최대 보관 기간: 6 월유형: HTTP 쿠키
  pagead/1p-user-list/#Tracks if the user has shown interest in specific products or events across multiple websites and detects how the user navigates between sites. This is used for measurement of advertisement efforts and facilitates payment of referral-fees between websites.
  최대 보관 기간: 세션유형: 픽셀 트래커
- LinkedIn
  2
  이 공급자에 대해 자세히 알아보기
  bcookie임베디드 서비스 사용을 추적하기 위해 소셜 네트워크 서비스인 LinkedIn에 사용됨.
  최대 보관 기간: 1 년유형: HTTP 쿠키
  lidc임베디드 서비스 사용을 추적하기 위해 소셜 네트워크 서비스인 LinkedIn에 사용됨.
  최대 보관 기간: 2 일유형: HTTP 쿠키
- Marketo
  1
  이 공급자에 대해 자세히 알아보기
  _mkto_trk방문자의 행동과 웹사이트 상호 작용에 관한 데이터를 포함함. 이는 웹사이트가 이메일을 통해 방문자를 추적할 수 있도록 하는 이메일 마케팅 서비스인 Marketo.com과 관련하여 사용됩니다.
  최대 보관 기간: 2 년유형: HTTP 쿠키
- Usercentrics GmbH
  1
  이 공급자에 대해 자세히 알아보기
  1.gifUsed to count the number of sessions to the website, necessary for optimizing CMP product delivery.
  최대 보관 기간: 세션유형: 픽셀 트래커
- Wisepops
  17
  이 공급자에 대해 자세히 알아보기
  __tld__ [x2]Used to track visitors on multiple websites, in order to present relevant advertisement based on the visitor's preferences.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTTP 쿠키
  wisepops [x2]웹사이트의 팝업 광고 컨텐츠 문구에 사용됩니다. 쿠키는 동일한 동일한 광고를 의도한 것 이상으로 홍보하지 않도록 보장할 뿐만 아니라 방문자에게 어떠한 광보를 보여줘야 할지를 결정합니다.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTTP 쿠키
  wisepops_props [x2]웹사이트의 팝업 광고 컨텐츠 문구에 사용됩니다. 쿠키는 동일한 동일한 광고를 의도한 것 이상으로 홍보하지 않도록 보장할 뿐만 아니라 방문자에게 어떠한 광보를 보여줘야 할지를 결정합니다.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTTP 쿠키
  wisepops_session [x2]웹사이트의 팝업 광고 컨텐츠 문구에 사용됩니다. 쿠키는 동일한 동일한 광고를 의도한 것 이상으로 홍보하지 않도록 보장할 뿐만 아니라 방문자에게 어떠한 광보를 보여줘야 할지를 결정합니다.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTTP 쿠키
  wisepops_visitor [x2]Used in context with pop-up advertisement-content on the website. The cookie determines which ads the visitor should be shown, as well as ensuring that the same ads does not get shown more than intended.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTTP 쿠키
  wisepops_visits [x2]웹사이트의 팝업 광고 컨텐츠 문구에 사용됩니다. 쿠키는 동일한 동일한 광고를 의도한 것 이상으로 홍보하지 않도록 보장할 뿐만 아니라 방문자에게 어떠한 광보를 보여줘야 할지를 결정합니다.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTTP 쿠키
  wisepops_session_idUsed in context with pop-up advertisement-content on the website. The cookie determines which ads the visitor should be shown, as well as ensuring that the same ads does not get shown more than intended.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTML 로컬 스토리지
  wisepops_session_landing_urlUsed in context with pop-up advertisement-content on the website. The cookie determines which ads the visitor should be shown, as well as ensuring that the same ads does not get shown more than intended.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTML 로컬 스토리지
  wisepops_session_referrerUsed in context with pop-up advertisement-content on the website. The cookie determines which ads the visitor should be shown, as well as ensuring that the same ads does not get shown more than intended.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTML 로컬 스토리지
  wisepops-pageview_idUsed in context with pop-up advertisement-content on the website. The cookie determines which ads the visitor should be shown, as well as ensuring that the same ads does not get shown more than intended.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTML 로컬 스토리지
  wisepops-uses-attentionUsed in context with pop-up advertisement-content on the website. The cookie determines which ads the visitor should be shown, as well as ensuring that the same ads does not get shown more than intended.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTML 로컬 스토리지
- YouTube
  21
  이 공급자에 대해 자세히 알아보기
  #-#Used to track user’s interaction with embedded content.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTML 로컬 스토리지
  __Secure-ROLLOUT_TOKEN미결
  최대 보관 기간: 180 일유형: HTTP 쿠키
  iU5q-!O9@$Registers a unique ID to keep statistics of what videos from YouTube the user has seen.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTML 로컬 스토리지
  LAST_RESULT_ENTRY_KEYUsed to track user’s interaction with embedded content.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTTP 쿠키
  LogsDatabaseV2:V#||LogsRequestsStoreStores the user's video player preferences using embedded YouTube video
  최대 보관 기간: 영구유형: IndexedDB
  nextIdUsed to track user’s interaction with embedded content.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTTP 쿠키
  remote_sidNecessary for the implementation and functionality of YouTube video-content on the website.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTTP 쿠키
  requestsUsed to track user’s interaction with embedded content.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTTP 쿠키
  ServiceWorkerLogsDatabase#SWHealthLogNecessary for the implementation and functionality of YouTube video-content on the website.
  최대 보관 기간: 영구유형: IndexedDB
  TESTCOOKIESENABLEDUsed to track user’s interaction with embedded content.
  최대 보관 기간: 1 일유형: HTTP 쿠키
  VISITOR_INFO1_LIVE유튜브 비디오가 통합된 페이지 상에서 사용자의 대역폭을 추정함.
  최대 보관 기간: 180 일유형: HTTP 쿠키
  YSC사용자가 시청한 유튜브 동영상에 관한 통계를 보관하기 위해 고유의 ID를 등록함.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTTP 쿠키
  ytidb::LAST_RESULT_ENTRY_KEYStores the user's video player preferences using embedded YouTube video
  최대 보관 기간: 영구유형: HTML 로컬 스토리지
  YtIdbMeta#databasesUsed to track user’s interaction with embedded content.
  최대 보관 기간: 영구유형: IndexedDB
  yt-remote-cast-availableStores the user's video player preferences using embedded YouTube video
  최대 보관 기간: 세션유형: HTML 로컬 스토리지
  yt-remote-cast-installed내장된 유튜브 비디오를 사용해 사용자의 비디오 플레이어 환경 설정을 저장함.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTML 로컬 스토리지
  yt-remote-connected-devices내장된 유튜브 비디오를 사용해 사용자의 비디오 플레이어 환경 설정을 저장함.
  최대 보관 기간: 영구유형: HTML 로컬 스토리지
  yt-remote-device-id내장된 유튜브 비디오를 사용해 사용자의 비디오 플레이어 환경 설정을 저장함.
  최대 보관 기간: 영구유형: HTML 로컬 스토리지
  yt-remote-fast-check-period내장된 유튜브 비디오를 사용해 사용자의 비디오 플레이어 환경 설정을 저장함.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTML 로컬 스토리지
  yt-remote-session-app내장된 유튜브 비디오를 사용해 사용자의 비디오 플레이어 환경 설정을 저장함.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTML 로컬 스토리지
  yt-remote-session-name내장된 유튜브 비디오를 사용해 사용자의 비디오 플레이어 환경 설정을 저장함.
  최대 보관 기간: 세션유형: HTML 로컬 스토리지
분류되지 않은 쿠키는 개별 쿠키의 제공 업체와 함께 분류 중인 절차에 있는 쿠키들입니다.
- Google
  1
  이 공급자에 대해 자세히 알아보기
  이 공급자가 수집하는 일부 데이터는 개인화 및 광고 효과 측정을 위한 것입니다.
  _gcl_ls미결
  최대 보관 기간: 영구유형: HTML 로컬 스토리지
- Livechat
  1
  이 공급자에 대해 자세히 알아보기
  3b0f44ba-5eb5-4bb1-a9e1-2214776a186b:state미결
  최대 보관 기간: 영구유형: HTML 로컬 스토리지

쿠키 선언은 Cookiebot에 의해 3/18/25에 마지막으로 업데이트했습니다.

[#IABV2_TITLE#]

[#IABV2_BODY_INTRO#]

[#IABV2_BODY_LEGITIMATE_INTEREST_INTRO#]

[#IABV2_BODY_PREFERENCE_INTRO#]

[#IABV2_BODY_PURPOSES_INTRO#]

[#IABV2_BODY_PURPOSES#]

[#IABV2_BODY_FEATURES_INTRO#]

[#IABV2_BODY_FEATURES#]

[#IABV2_BODY_PARTNERS_INTRO#]

[#IABV2_BODY_PARTNERS#]

About

쿠키는 사용자 경험을 더 효율적으로 하기 위해 웹사이트가 사용할 수 있는 작은 텍스트 파일입니다.

이 사이트 작업에 대해 엄격하게 할 필요한 경우, 법으로 장치에 쿠키를 저장할 수 있도록 명시합니다. 모든 기타 유형의 쿠키의 경우, 귀하의 허가가 필요합니다.

이 사이트는 다른 유형의 쿠키를 사용합니다. 일부 쿠키는 저희 페이지에 표시된 타사 업체 서비스에 의해 배치됩니다.

언제든지 웹사이트의 쿠키 선언 란에서 동의 여부를 변경하거나 철회할 수 있습니다.

어떤 회사이며 어떻게 연락해야 하는지, 개인정보보호방침에 따라 어떻게 개인 정보를 처리하는지에 대해 알아보세요. 동의 사항에 관해 문의하실 때 귀하의 동의 ID를 말씀해 주십시오.

내 개인 정보를 판매하거나 공유하지 마십시오.

초저 표면 거칠기로 산란 최소화

초미세연마 광학은 표면 거칠기가 옹스트롬 미만으로서 정밀 레이저 광학 용도에 적합

이온빔 스퍼터링(IBS) 코팅으로 보완 처리하면 광손실이 극히 낮은 광학 생성 가능

온도, pH 레벨, 슬러리 주입과 같은 연마 가공 매개변수의 경우 고도의 제어 요구

소음이 있는 환경에서 옹스트롬 미만으로 측정 시 정밀 계측 기술 필요

레이저 시스템의 출력은 높이고 손실은 낮추려는 프로세스를 지속적으로 진행하려면, 특히 고출력 레이저 혹은 단파장을 사용 시 산란을 최소화하는 광학 부품이 필요합니다. 광학 표면의 거칠기를 극히 낮춤으로써 이와 같은 성능을 구현할 수 있는 광학을 주로 "초미세연마" 광학이라고 합니다. 광학 업계에 따르면 초미세연마 광학의 표면 거칠기를 표준화한 규정이 아직 존재하지 않지만 에드몬드 옵틱스는 백반분율(ppm) 정도의 저산란을 위해 RMS 표면 거칠기가 최소 1 옹스트롬(10^-10 m) 미만이 되도록 광학 표면을 연마하는 프로세스를 개발하였습니다. 초미세연마 광학은 기체 분석용 공동광자감쇠 시스템(cavity ring-down system), 레이저 자이로스코프, 저결함 광학을 필요로 하는 기타 시스템 등과 같이 민감도가 높은 레이저 용도에 사용하기 적합합니다. 이처럼 고도로 제어된 표면은 이온빔 스퍼터링(IBS)과 같이 저손실 코팅 기술을 보완하는 데 사용할 수 있습니다.

옹스트롬 미만의 표면 거칠기를 측정하는 방식은?

계측 장치는 각각의 기계마다 측정 가능한 공간 주파수의 범위를 가지고 있습니다. 그림 1은 표면 거칠기를 측정하는 데 주로 사용되는 3가지 기술(일반 간섭측정, 백색 간섭측정(WLI), 원자력 현미경(AFM))의 공간 주파수 범위가 어떻게 겹치는지를 보여줍니다.

그림 1: 공통 기기에서의 공간 주파수 범위가 역량에 따라 어떻게 겹치는지를 나타냄.¹

공간 주파수의 범위가 달라지면 해당 표면에서 일어나는 오류의 유형 역시 달라집니다. 이와 같은 주파수 그룹을 명확하게 나눌 수 있는 기준이 현재로서는 존재하지 않지만 일반적으로 특정 주파수의 범위를 포괄하는 정도로 이해할 수 있습니다. 기존의 HeNe 간섭계는 형상 오류로 알려진 전형적 저니케 다항식(Zernike polynomial)과 관련된 낮은 공간 주파수를 측정하는 데 이상적으로 사용됩니다. 이 간섭계는 WLI의 중간 공간 주파수와 다소 중복되지만 파상도(waviness)로 알려진 보다 미세한 수준의 표면 오류를 측정해야 하는 경우에는 여전히 WLI가 더 적합합니다. 단, 이러한 범위에서는 산란이 증가하고 성능이 저하하는 오류가 발생하기 시작합니다. 거칠기 측정에 있어 WLI와 AFM 둘 다 사용할 수 있지만, 주요 공간 주파수의 그룹은 어플리케이션에 따라 달라집니다. 시각 및 장파장 어플리케이션의 경우 WLI를 사용할 때 대개 2,000 cycles/mm 미만으로 측정이 이루어집니다. AFM은 표면을 상세히 관찰할 때 사용하기 적합하며 UV 어플리케이션에서와 같이 수치가 높은 공간 주파수를 측정할 때 필요할 수 있습니다.

공간 주파수가 더 높은 범위를 갖는 계측 기기를 사용하면 일반적으로 시야(FOV)가 작아지는 경향이 있습니다. AFM은 옹스트롬 미만의 표면을 직접 측정할 때 사용할 수 있지만 작은 시야와 민감도로 인해 생산 용도에서의 거칠기 측정보다는 실험실 용도에 더 적합합니다. AFM과 WLI 사이의 데이터 상관관계에 따라 WLI의 최대 성능 보장을 위한 절차를 거치면, 생산 용도에서 초미세연마 가공 표면의 RMS 표면 거칠기를 옹스트롬 미만으로 측정할 때 WLI가 더 효율적인 도구일 수 있음을 에드몬드 옵틱스의 자체 검증을 통해 확인되었습니다. 옹스트롬 미만의 표면 거칠기 계측에 관한 보다 자세한 사항은 당사의 SPIE conference proceedings에서 확인할 수 있습니다.²

초미세연마 광학의 제작 과정은?

기존의 감색 광학 연마기법(subtractive optical polishing)은 초기 단계의 연삭연마 공법에서 발생하는 손상을 없애기 위해 점진적으로 더 작은 연마재 입자(grit)를 사용해가며 이를 반복하는 과정을 일컫습니다. 사용하는 입자의 미세한 정도와 상관없이 표면의 하부에는 산발적 연마 과정에서 자연스러운 손상이 일어나게 됩니다. 이러한 손상 부위는 표면 및 표면 하부에 위치하여 표면 거칠기 및 에너지 흡수를 증가시켜 에너지의 산란을 증가시키는 동시에 열을 발생시키고 시스템의 효율성을 감소시킵니다. 이때 산란은 표면 거칠기의 제곱에 비례하여 발생합니다.

에드몬드 옵틱스에서 광학을 초미세 연마하기 위해 채택한 방식은 슬러리, 글래스, 연마 단계 사이에서 초점을 기계적 연마가 아닌 화학적 반응으로 이동시켜 표면 하부의 손상을 완전히 제거하도록 하는 것입니다. 기계적 작용은 베일비 층(Beilby layer)에서 반응하기 때문에 기판에 있는 요소들을 제거할 때만 사용됩니다. 실리카 글래스는 수분에 용해되지 않더라도 베일비 층은 연마 과정 중에 형성된 실리카 층으로서 일단 형성이 되면 기판에 더 이상 변화가 발생하지 않도록 보호 역할을 제공하며 수산화이온의 분산을 통해 개조가 가능합니다.³

옹스트롬 미만의 표면 거칠기를 가진 광학은 침수연마(submersion polishing) 공정을 거쳐 제조되며, 슬러리와 함께 수분을 공급하는 단계에서는 광학과 동일한 온도를 유지하게 됩니다. 온도 및 pH 레벨은 화학적 반응이 쉽게 일어나도록 고도로 제어되는 반면 표면 장력은 오염 물질을 막아주는 장벽을 형성합니다.⁴ 에드몬드 옵틱스의 침수연마 공정 개발에 관한 자세한 사항은 당사의 SPIE conference proceedings에서 확인할 수 있습니다.

에드몬드 옵틱스의 초미세연마 광학

에드몬드 옵틱스는 용융 실리카 소재의 평면 및 구형 광학으로 옹스트롬 미만의 초미세연마 표면을 반복적으로 구현할 수 있음을 증명하였습니다. 표면에는 제조 공정 중에 생길 수 있는 어떠한 잔여 구조물도 남지 않았으며 측정 가능한 표면 하부 손상도 관측되지 않았습니다(표 1).

Fused Silica Optics Before Superpolishing
	P-V (Å)	RMS (Å)	Ra (Å)
Average	183.42	7.42	5.70
Range	2089.92	18.24	11.19
Standard Deviation	186.88	2.91	1.82

Fused Silica Optics After Superpolishing
	P-V (Å)	RMS (Å)	Ra (Å)
Average	14.24	0.91	0.77
Range	2.26	0.03	0.21
Standard Deviation	1.14	0.02	0.06

표 1: RMS 표면 거칠기를 7Å 이상에서 1Å 미만으로 감소시키는 것이 입증된 침수연마 공법. 상세 내용은 당사 SPIE conference proceedings 참조.

라이브 웨비나 (영문버전)

전체 웨비나 보기

Ultra-Low Surface
Roughness Polishing

To learn more about the fabrication and measurement of superpolished optics, watch our 45-minute on-demand webinar

WATCH NOW

어플리케이션 및 관련 문의는 당사로 연락바랍니다

초미세연마 표면은 이온빔 스퍼터링(IBS) 등과 같이 손실이 낮은 코팅 기술을 보완하며 이러한 코팅이 적절히 증착될 경우 일반적으로 성능은 글래스 기판의 거칠기에 따라 결정됩니다. 초미세연마 광학의 특수 맞춤 제작은 당사로 문의 바라며 관련 기성 제품은 아래에서 확인할 수 있습니다.

바로 문의하기

IBS Laser Line Mirrors

저손실 및 고반사율을 위한 IBS 미러 코팅
1064nm, DWL에서 최대 15 J/cm²의 높은 Laser Damage Threshold 보장
Parts per Million 수준의 산란 성능을 제공하기 위해 초미세 연마된 기판

바로 구매하기

Superpolished Laser Window Substrates

1Å RMS 이하의 표면 거칠기로 양쪽 표면 초미세 연마 가공
λ/10의 표면 평탄도 및 10-5의 표면 품질도
표면 산란이 적어 UV 또는 고출력 레이저 용도에 적합
EO내 제조 시설 보유로 6 - 76.2mm의 크기 및 형태, 0.5Å 미만의 표면 거칠기를 갖는 맞춤 제작 가능

바로 구매하기

참고 문헌

Leslie L. Deck, Chris Evans, "High performance Fizeau and scanning whitelight interferometers for mid-spatial frequency optical testing of free-form optics," Proc. SPIE 5921, Advances in Metrology for X-Ray and EUV Optics, 59210A (31 August 2005); doi: 10.1117/12.616874
Shawn Iles, Jayson Nelson, "Sub-angstrom surface roughness metrology with the white light interferometer," Proc. SPIE 11175, Optifab 2019, 1117519 (15 November 2019); https://doi.org/10.1117/12.2536683
Finch, G. Ingle. “The Beilby Layer on Non-Metals.” Nature, vol. 138, no. 3502, 1936, pp. 1010–1010., doi:10.1038/1381010a0.
Jayson Nelson, Shawn Iles, "Creating sub angstrom surfaces on planar and spherical substrates," Proc. SPIE 11175, Optifab 2019, 1117505 (15 November 2019); https://doi.org/10.1117/12.2536689
Peter D. Groot, “The Meaning and Measure of Vertical Resolution in Optical Surface Topography Measurement.” Applied Sciences, 7(1), 54 (5 January 2017) doi:10.3390/app7010054

자주 묻는 질문(FAQ's)

바로 구매하기

네, 그렇습니다. 옹스트롬 미만의 RMS 표면 거칠기는 N-BK7, 실리콘, 플루오르화칼슘에서도 입증되었습니다.

원자력 현미경(AFM)으로 가장 높은 공간 주파수를 측정할 수 있다면 옹스트롬 미만의 표면 거칠기를 측정할 때 왜 백색광 간섭계(WLI)를 사용해야 합니까?

AFM은 공간 주파수가 더 높은 경우에도 측정이 가능함에 따라 더 작은 세부 정보까지 해상할 수 있지만 시야(FOV)가 작고 환경 요소에 대한 민감도가 높기 때문에 생산 환경에서의 계측 용도로 사용하기에는 부적합합니다. WLI는 AFM의 단점을 피하면서 옹스트롬 미만의 RMS 표면 거칠기를 성공적으로 측정할 수 있음이 입증된 계측법입니다.²

백색광 간섭계의 공간 주파수 상한치가 대략 1,800 cycles/mm인 경우 공간 영역내의 주파수가 556nm에 해당할 때 옹스트롬 미만의 RMS 거칠기는 어떠한 방식으로 측정이 가능합니까?

556nm 파장은 이미징 기기가 적절한 정확도로 영상 처리를 할 수 있을 때의 특정 피처 크기(feature size)를 나타냅니다. 이는 기기의 측면 해상도를 측정한 값에 해당합니다. RMS 한계치는 종종 수직 해상도로 불리우며 기기의 노이즈 플로어(noise floor)와 상관관계에 있는 대신 피처 크기와는 무관합니다.⁵

초미세연마 광학에 관한 더 많은 정보는 어디에서 찾아볼 수 있을까요?

당사에서 초미세연마 광학 표면의 제조 및 측정에 관해 다룬 SPIE conference proceedings에서 보다 자세한 정보를 확인할 수 있습니다.