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13.5nm, 25.4mm Dia, 5° AOI, EUV Flat Mirror

Extreme Ultraviolet (EUV) Flat Mirrors

Extreme Ultraviolet (EUV) Flat Mirrors

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제품사양

General

Type:
Flat Mirror

Physical & Mechanical Properties

Diameter (mm):
25.40 ±0.25
Back Surface:
Commercial Polish
Clear Aperture (%):
90
Edges:
Fine Ground
Parallelism (arcmin):
3
Surface Roughness (Å):
<5 RMS
Thickness (mm):
6.35 ±0.508
Thickness Tolerance (mm):
0.508

Optical Properties

Surface Flatness (P-V):
λ/10 @ 632.8nm
Substrate: Many glass manufacturers offer the same material characteristics under different trade names. Learn More
Single Crystal Silicon
Surface Quality:
10 - 5
Coating Specification:
Rabs >60% @ 13.5nm, 5° (s-pol)
Coating:
Mo/Si Multilayer
Top Layer: Silicon
Coating Type:
Metal/Semiconductor
Angle of Incidence (°):
5
Design Wavelength DWL (nm):
13.5
Wavelength Range (nm):
13.18 - 13.68
Full Width-Half Max FWHM (nm):
0.50
Reflection at DWL (%):
>60

Electrical

Center Energy (eV):
92

Regulatory Compliance

RoHS:
Certificate of Conformance:

제품설명

  • 13.5nm에서 최대 반사율 달성
  • EUV 빔 조정 및 고조파 분리용으로 설계
  • 5° 및 45° AOI 버전으로 제공

Extreme Ultraviolet (EUV) Flat Mirrors는 설계 파장과 입사각에서 반사율이 최대치에 이르도록 설계된 다층 구조의 미러입니다. 이 미러는 초미세연마 가공된 단일 크리스털 실리콘 기판에 코팅 처리가 되어 3Å RMS 미만의 표면 거칠기를 제공합니다. 45° AOI mirror는 s-편광 빔 조정 용도에 유용한 반면, 5° AOI mirror는 비편광 빔과 함께 사용할 수 있습니다. EUV mirror의 용도로는 Coherent Diffractive Imaging (CDI) 및 소재 과학 연구가 있습니다. 이 밖에도 Extreme Ultraviolet (EUV) Flat Mirrors는 High Harmonic Generation (HHG) 빔을 위한 harmonic selector처럼 사용할 수 있습니다.

참고: 각 미러의 생산 시행 견본에 대한 테스트 데이터는 본품에 함께 포함됩니다.

제품자료

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25.4mm Optic Dia., Thin Mirror Mount, M4 Fixed #13-590 KRW 28,300
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25.4mm Optic Dia., Thin Mirror Mount, 8-32 Fixed #13-591 KRW 28,300
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25.0/25.4mm Optic Dia., SM1 Thin Mount, M4 Fixed #13-787 KRW 28,300
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25.4mm Optic Dia., 10mm Max Optic Thickness, Optic Mount Fixed #64-561 KRW 44,200
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25.4mm Optic Dia., 13mm Max Optic Thickness, Optic Mount Fixed #64-562 KRW 44,200
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25.0/25.4mm Optic Dia., E-Series Kinematic Mount Adjustable - Tip-Tilt #15-866 KRW 57,300
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25.4mm Optic Dia., Thin Mirror Mount, M4, Quick Start Optical Mounts Fixed #17-534 KRW 86,300
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2.0 - 35.0mm Optic Dia., Three-Screw Adjustable Ring Mount Fixed #03-668 KRW 89,900
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25.0/25.4mm Optic Dia., L-Slot Direct Mount Fixed #36-410 KRW 96,400
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9.5 - 73.0mm Optic Dia., Three-Screw Adjustable Ring Mount Fixed #36-605 KRW 112,400
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25.4mm Optic Dia., Fixed Optic Mount, Quick Start Optical Mounts Fixed #17-515 KRW 140,300
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25.0/25.4mm Optic Dia., Kinematic Mount, 3-Screws Adjustable - Tip-Tilt #58-854 KRW 143,600
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7.0 - 40.0 Optic Height, English Bar-Type Optic Holder Fixed #03-676 KRW 143,600
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10.0 - 60.0mm Optic Height, Metric Bar-Type Optic Holder Fixed #55-530 KRW 146,500
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19.5 - 108.0mm Optic Dia., Three-Screw Adjustable Ring Mount Fixed #03-670 KRW 153,700
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7.0 - 67.0 Optic Height, English Bar-Type Optic Holder Fixed #03-669 KRW 156,600
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8.0 - 118.0 Optic Height, English Bar-Type Optic Holder Fixed #03-666 KRW 162,400
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25/25.4mm Dia., Kinematic Mount, 3-Screws, Quick Start Optical Mounts Adjustable - Tip-Tilt #17-523 KRW 201,600
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25.0/25.4mm Optic Dia., Stainless Steel Kinematic Mount, 2-Screws Adjustable - Tip-Tilt #26-815 신제품 KRW 217,500
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2"/50.8mm Diameter, Bar Type Lens / Filter Holder, Quick Start Optical Mounts Fixed #17-530 KRW 217,900
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25.0/25.4mm Optic Diameter, X-Y Translating Quick Start Optical Mounts Adjustable - Linear (XY) #17-513 KRW 436,800
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25.0/25.4mm Optic Dia., Kinematic Mirror Mount Adjustable - Tip-Tilt #55-003 KRW 455,300
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25.0/25.4mm Optic Dia., Kinematic Mirror Mount with Micrometer Adjustable - Tip-Tilt #55-456 KRW 488,700
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5.0 - 100.0mm Optic Dia., Self-Centering Jaw Clamp Fixed #16-078 KRW 555,400
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25.0/25.4mm Optic Dia., Kinematic Mirror Mount with Micrometer, Quick Start Optical Mounts Adjustable - Tip-Tilt #17-519 KRW 559,800
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25.0/25.4mm Optic Dia., X-Y-Z Translating Optic Mount Adjustable - Linear (XYZ) #62-959 KRW 732,300
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25.0/25.4mm Optic Dia., 5 Axes Optical Mount Adjustable - Linear (XYZ) & Tip-Tilt #13-776 KRW 1,022,300
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