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Rotary Piezo Positioning Stage

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Type of Movement:
Rotary
Guide System:
Ball Bearing
Type of Drive:
Ultrasonic Motor
Type:
Metric
Stage Size (mm):
36.0 x 32.0
Travel (°):
360
Construction:
Aluminum Body, Steel Bearing
Eccentricity (μm):
5
Flatness (μm):
5.0
Load Capacity (kg):
1 (Horizontal)
Note:
Use with Piezo Positioning Stage Controller #88-552
Repeatability (°):
Bi-directional: 0.0044
Uni-directional: 0.013
Resolution (°):
0.0022 Typ. (Open Loop)
Speed (°/s):
6 Max with #88-552
Weight (g):
50
Wobble (mrad):
±100
Wobble (µrad):
100

Regulatory Compliance

RoHS:
Certificate of Conformance:

제품명

Controller (#88-552) required for operation.

제품군의 상세 설명

  • 높은 정밀도의 Piezo 스테이지
  • Stick-Slip 디자인
  • 초미세 컨트롤

Piezo Positioning Stage는 piezo-driven motor를 이용해 정밀 포지셔닝이 필요한 용도에서 sub-micron 해상도의 이동 능력을 제공합니다. Piezo Positioning Stage는 반복성 유지를 위한 내장 인코더 이외에도 정밀도나 전체적인 이동 범위를 희생시킴 없이 이동 축을 따라 piezo element를 완전히 확장시켜 스테이지를 움직이는 stick-slip 디자인을 갖고 있습니다. Linear positioning stage는 초당 2mm씩, 모두 51mm 이상의 이동이 가능합니다. 사전 장착된 강철 볼 베어링 두 개를 이용하는 Rotary stage는 이동 범위 제한 없이 초당 6° 이상 회전 가능하며 높은 blocking force가 특징입니다.

참고: 참조: 이 제품들은 컨트롤로가 필요합니다. 자세한 문의는 연락처(Contact Us)로 문의해 주시기 바랍니다.

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